Die Schraubenvakuumpumpe besteht aus zwei Rotoren (1, 2) in Schraubenform, wobei eine Schraube ein Rechts- die andere ein Linksgewinde aufweist.Beide Schrauben kämmen berührungslos und mit sehr en gen Spalten im Verdichtergehäuse (9). Die Synchronisati on erfolgt über ein Präzisionsgetriebe (3).Durch die spezielle Form der Schrauben werden mit dem Verdichtergehäuse Kammern (4) gebildet. In Folge der gegenläufigen Rotation beider Schrauben wird die mit dem Sauganschluss (5) verbundene Kammer vergrößert und dadurch Medium angesaugt. Anschließend wird die Kammer axial von der Saugseite zur Druckseite geschoben (Pfeil).

Auf dem Transportweg wird durch Spaltströmungen die Gasmasse in der Kammer erhöht. Auf der Druckseite wird die Kammer gegen die axiale Gehäusewand geschoben und das Volumen verkleinert, bis die Stirnfläche von Schraube (1) den Druckkanal (6) öffnet und das vorverdichtete Gas durch den Druckstutzen (7) aus geschoben wird.

Die Kühlung erfolgt durch einen von Wasser durchströmten Mantel (8).

Außerdem kann durch einen Anschluss (10) Kühlgas zugeführt werden.